真空镀膜的离子镀,蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图],将基片台作为阴极,外壳作阳极,充入惰性气体(如氩)以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子(约占蒸发料的95%)也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子能量约几百~几千电子伏)和氩离子对基片的溅射清洗作用,使膜层附着强度提高。离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有很好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜。真空镀膜的专业性是应用物理分析化学方法,在固体表面涂上独特特征的表面涂层。昆明国内真空镀膜
真空镀膜中常用的方法有真空蒸发和离子溅射。真空蒸发镀膜是在真空度不低于10-2Pa的环境中,用电阻加热或电子束和激光轰击等方法把要蒸发的材料加热到一定温度,使材料中分子或原子的热振动能量超过表面的束缚能,从而使大量分子或原子蒸发或升华,并直接沉淀在基片上形成薄膜。离子溅射镀膜是利用气体放电产生的正离子在电场的作用下的高速运动轰击作为阴极的靶,使靶材中的原子或分子逸出来而沉淀到被镀工件的表面,形成所需要的薄膜。真空蒸发镀膜较为常用的是电阻加热法,其优点是加热源的结构简单,造价低廉,操作方便。昆明国内真空镀膜真空镀膜应该是在真空度不低于10-2Pa的环境中进行。
真空镀膜加工过程中清洁工作的重要性:真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要,直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理,表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物,为了避免加工过程中造成的不良,真空镀加工厂家基本上可采用去油或化学清冼方法将其去掉。真空镀膜,对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至较小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。
真空镀膜技术初现于20世纪30年代,四五十年代开始出现工业应用,工业化大规模生产开始于20世纪80年代,在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得较广的应用。真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料),属于物理的气相沉积工艺。因为镀层常为金属薄膜,故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。在所有被镀材料中,以塑料较为常见,其次,为纸张镀膜。相对于金属、陶瓷、木材等材料,塑料具有来源充足、性能易于调控、加工方便等优势,因此种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构材料,大量应用于汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外观不够华丽、耐磨性低等缺陷,如在塑料表面蒸镀一层极薄的金属薄膜,即可赋予塑料程亮的金属外观,合适的金属源还可增加材料表面耐磨性能,拓宽了塑料的装饰性和应用范围。真空下制备薄膜,环境清洁,膜不易受污染,可获得致密性好,纯度高,膜厚均匀的涂层。
真空镀膜开始前要注意哪些?真空镀膜表面的清洗非常重要,直接影响电镀产品的质量。在进入镀膜室之前,工件必须在电镀前仔细清洗。表面污染来源于加工、运输和包装过程中粘附在工件上的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物质。为了避免加工过程中造成的缺陷,真空镀膜厂家基本上可以通过脱脂或化学清洗的方式去除。以及清理涂装室内的灰尘,建立清洁的车间,保持室内的高度清洁,是涂装工艺对环境的基本要求。在空气湿度高的区域,除了在电镀前仔细清洁真空室中的基板和零件外,还需要烘烤和脱气。为防止油带入真空室,应注意油扩散泵的回油情况,对加热功率大的扩散泵采取挡油措施。真空镀膜常见到的有真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜等。石家庄工具真空镀膜
真空镀膜技术是表面工程技术领域的重要组成部分。昆明国内真空镀膜
真空镀膜行业中,氩气的流量大小具体如何控制?任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体,当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比,不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。各种泵对不同成分的气体抽气速率也是不一样的。抽真空时,首先抽走的是容器中的大气(这部份气体很快被抽走,10-1Pa时炉内气体基本抽尽),然后是材料表面解吸的气体、材料内部向表面扩散出来的气体,以及通过器壁滲透到真空中的气体.因此在货品进入炉内之后,都要进行保温除气,因为货品在进炉前会吸附一些杂质气体,我们要通过适当的加热,让这些气体解析脱附货品的表面。以不锈钢为例,除了在它表面吸附的气体之外,在不断的加热保温过程中钢内部还会析出一些气体,这些气体的存在往往对薄膜的纯度和颜色有较大的影响,对膜层附着力影响也很大。昆明国内真空镀膜
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